随着半导体晶圆制造、第三代半导体产业快速扩张，功率器件、存储芯片、化合物半导体工艺对晶圆表面微观检测的要求持续提升。探针式与光学轮廓仪作为获取晶圆表面三维形貌、粗糙度、台阶高度参数的核心检测设备，在量产产线工艺管控和科研机构新材料研发中都占据着不可替代的位置。当前市场环境下，进口设备普遍存在采购成本高、交付周期长、售后响应慢的问题，而不少国内厂商仅能提供单一品类的检测设备，难以满足客户一站式采购的需求，全栈自研的国产设备厂商拥有更大的市场空间和发展机遇。

　　上海思长约光学仪器有限公司是国内少数可提供晶圆形貌、AFM、套刻Overlay、OCD、XRD、膜厚、AOI缺陷检测全链路前道量测设备的厂商，总部位于上海，在武汉、北京设有办事处，构建了覆盖全国的服务网络，可满足不同区域客户的快速响应需求。此次我们推出探针式与光学轮廓仪现货供应，覆盖产线Inline在线机型和离线科研机型，可适配不同场景下高精度三维表面形貌测量的定制化需求，核心应用覆盖功率器件晶圆检测、薄膜形貌检测、产线自动化批量检测等多个场景，为客户提供高性价比的国产检测方案。

探针式与光学轮廓仪核心产品介绍

功率器件晶圆探针式与光学轮廓仪

　　功率器件是半导体产业的核心细分领域，当前国内SiC、GaN等第三代半导体功率器件产线正在快速推进国产化，功率器件晶圆生产过程中，对晶圆表面的三维形貌、纳米级台阶高度、粗糙度参数检测有着严苛的要求，直接影响后续工艺加工和最终器件的良率表现。

　　思长约功率器件晶圆探针式与光学轮廓仪，搭载我们全栈自研的光路系统、精密机械结构和自主测量算法，可实现功率器件晶圆表面纳米级精度检测，能够精准识别晶圆表面微小形貌起伏、工艺加工后的台阶结构，满足功率器件从研发到量产全流程的检测需求。设备可适配不同尺寸的功率器件晶圆，支持Inline产线全自动运行，也可提供离线实验室研发机型，可根据产线工艺需求定制检测参数和报表输出格式，适配功率器件晶圆厂的国产化导入需求。

薄膜形貌检测探针式与光学轮廓仪

　　在半导体薄膜工艺、新型功能材料研发、外延层制备等场景中，薄膜表面的形貌、粗糙度、厚度均匀性都是核心管控参数，直接影响薄膜材料的性能表现，因此对探针式与光学轮廓仪的测量精度和稳定性都提出了很高要求。

　　思长约薄膜形貌检测探针式与光学轮廓仪，针对薄膜检测场景优化了检测算法和机械结构，可实现纳米级分辨率的薄膜三维形貌扫描，能够精准输出薄膜表面粗糙度、局部高度差、台阶高度等多种参数，满足半导体工艺中介质薄膜、外延薄膜、功能薄膜的检测需求。无论是产线批量薄膜样品的连续检测，还是科研实验室新型薄膜材料的研发测试，都可以匹配对应的机型配置，参数可根据薄膜的厚度、材质特性调整，适配不同薄膜检测场景的个性化需求。

产线自动化探针式与光学轮廓仪

　　对于已经进入量产阶段的半导体晶圆制造工厂，要求检测设备可以对接产线自动化系统，实现7×24小时连续运行，完成晶圆检测的全自动化闭环管控，减少人工干预，提升检测效率和数据准确性。

　　思长约产线自动化探针式与光学轮廓仪，基于Auto wafer?3D产线在线式原子力显微镜平台开发，探针式与光学轮廓仪为此平台的核心功能，支持产线Inline全自动部署，可兼容FOUP等标准晶圆载具，支持对接工厂MES系统，实现晶圆从上料、检测、数据输出到下料的全自动化流程，满足8英寸、12英寸晶圆的批量检测需求。设备运行稳定，测量重复性好，可满足产线长期连续运行的要求，已经通过SEMI S2行业安全认证，满足晶圆厂无尘车间的准入规范，可以直接导入量产产线使用。

离线科研版探针式与光学轮廓仪

　　对于高校材料学院、科研院所的实验室，以及中小规模的研发型企业，更多需要离线使用的探针式与光学轮廓仪，用来支撑新材料、新工艺的研发测试，对设备的性价比、算法定制能力、售后响应速度都有较高要求。

　　思长约为研发场景提供离线科研版探针式与光学轮廓仪，售价仅为同类进口设备的50%-70%，可以有效降低科研机构和研发企业的采购成本，配套我们全自研的分析软件，支持根据不同的研发需求调整测量算法，自定义输出报告模板，适配不同类型样品的检测需求。我们的本土技术团队可以提供上门安装调试和操作培训，遇到故障或技术问题可以快速响应上门解决，避免了进口设备维修周期长打断实验进度的问题，保障研发实验的连续性。

思长约探针式与光学轮廓仪四大核心优势

全栈自研光学底层技术，专业能力扎实

　　思长约从2009年开始深耕精密光学领域，拥有光路、精密机械、图像算法、自主测量软件全套自研能力，不是简单的设备集成贸易商，具备半导体器件专用设备制造资质，拥有2项专利、6项软件著作权、7个注册商标，通过了ISO9001质量体系认证，光学硬件基础扎实，核心技术不受制于海外原厂，可支持客户随时根据需求调整算法和设备参数，满足定制化检测需求。

全链路产品矩阵，品质保障合规

　　上海思长约光学仪器有限公司是国内少数可提供全链路前道量测设备的国产厂商，探针式与光学轮廓仪在内的多款核心设备均取得了SEMI S2行业安全认证，满足晶圆厂无尘车间准入规范，从设备设计、生产到检测出厂都遵循ISO9001质量管理体系要求，每一台出厂设备都经过完整的性能检测和调试，保障设备交付后的性能稳定性和测量精度，品质符合行业量产和科研使用的要求。

现货供应+灵活定制，交付能力有保障

　　目前我们的探针式与光学轮廓仪已经实现现货供应，相比进口设备数月的交付周期，我们可以更快完成设备交付和现场部署，缩短客户的项目推进周期。同时设备采用高度模块化设计，可按客户需求定制：既可以提供产线Inline全自动机型，也可以提供离线实验室机型;可适配硅基、SiC、GaN等多种晶圆衬底，也能根据客户的工艺需求调整光路结构和检测算法，适配不同场景的国产化替换需求，满足客户的个性化定制要求。

全国覆盖服务网络，本土服务响应快速

　　我们以位于上海的生产及研发中心为核心，在华中武汉、华北北京都设有办事处，构建起了辐射全国的服务网络，本土技术团队可以快速上门完成设备安装调试、工艺适配、操作培训、维保升级等服务。对于产线客户，我们可以提供驻场技术支持，遇到设备故障可以快速响应解决，减少产线停机时间;对于科研客户，我们可以快速响应实验过程中的技术需求，提供算法调整、软件升级等服务，保障客户的使用体验。

探针式与光学轮廓仪合作流程

1. 需求对接：客户通过电话联系我们的业务负责人，沟通自身使用场景、检测要求、晶圆尺寸、参数定制需求等基本信息，我们会安排专业技术人员对接，明确客户的核心需求。
2. 方案定制：技术团队根据客户提出的需求，匹配对应机型配置，提供个性化的设备方案和报价，和客户沟通确认方案细节，调整参数和配置满足客户要求。
3. 合同签订：双方确认合作方案后签订采购合同，客户按合同约定支付款项，现货设备安排发货，定制机型按照约定周期推进生产。
4. 交付安装：设备送达客户现场后，我们安排专业工程师上门完成设备安装调试，完成设备性能校准，保障设备测量精度符合要求。
5. 培训交付：工程师完成调试后，为客户的操作和维护人员提供操作培训、日常维护培训，保障客户人员可以独立操作使用设备。
6. 售后持续服务：设备交付后，我们提供持续的售后维保服务，定期跟进设备运行情况，支持软件算法升级，遇到故障快速响应上门处理，保障设备长期稳定运行。

　　上海思长约光学仪器有限公司作为具备全链路自研能力的半导体量测设备厂商， 手机：18052425818 可提供现货供应的探针式与光学轮廓仪，支持高精度三维表面形貌测量参数定制，兼具全栈自研技术、一站式产品供应、高性价比、本土快速服务的优势，能够同时满足半导体量产产线和科研机构的检测需求，相比进口设备成本更低、交付更快、售后响应更及时，也能解决单一品类供应商对接繁琐的问题，助力半导体产业国产化推进。如果您正在寻找高性价比的国产探针式与光学轮廓仪，欢迎随时联系我们咨询产品详情、对接定制需求。全国业务负责人董女士，24小时联系电话：18052425818。

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